চরম অতিবেগুনী লিথোগ্রাফি (ইউউল) কী? - টেকোপিডিয়া থেকে সংজ্ঞা

সংজ্ঞা - এক্সট্রিম আল্ট্রাভায়োলেট লিথোগ্রাফি (EUVL) এর অর্থ কী?

এক্সট্রিম আল্ট্রাভায়োলেট লিথোগ্রাফি (EUVL) একটি উন্নত, অত্যন্ত সুনির্দিষ্ট লিথোগ্রাফি প্রযুক্তি যা 10 গিগাহার্জ ঘড়ির গতি সমর্থন করার জন্য যথেষ্ট ছোট বৈশিষ্ট্যযুক্ত মাইক্রোচিপগুলি উত্পাদন করতে সহায়তা করে।

ইইউভিএল সুপার-চার্জড জেনন গ্যাস ব্যবহার করে, যা অতিবেগুনী আলো নির্গত করে এবং আরও সুনির্দিষ্ট বৈশিষ্ট্যের প্রস্থ তৈরি করতে সিলিকন ওয়েফারের উপর আলো ফোকাস করতে খুব সুনির্দিষ্ট মাইক্রো মিরর ব্যবহার করে।

টেকোপিডিয়া চূড়ান্ত আল্ট্রাভায়োলেট লিথোগ্রাফি (EUVL) ব্যাখ্যা করে

বিপরীতে, EUVL প্রযুক্তি আলোর ফোকাস করতে একটি অতিবেগুনী আলোক উত্স এবং লেন্স ব্যবহার করে। লেন্সগুলির সীমাবদ্ধতার কারণে এটি যথাযথ নয়।

EUVL প্রক্রিয়াটি নিম্নরূপ:

1. জেনন গ্যাসে একটি লেজার পরিচালিত হয়, এটি রক্তরসকে তৈরি করতে উত্তপ্ত করে।
2. প্লাজমাটি আলোকিত করে 13 ন্যানোমিটারে।
3. আলোটি একটি কনডেনসারে জড়ো করা হয় এবং তারপরে একটি মাস্কের দিকে পরিচালিত হয় যাতে সার্কিট বোর্ডের বিন্যাস থাকে। মুখোশটি আসলে চিপের একক স্তরের একটি নিদর্শন উপস্থাপনা। এটি আয়নার কিছু অংশে শোষক প্রয়োগ করে তৈরি করা হয়েছে তবে অন্যান্য অংশে নয়, সার্কিটের নকশা তৈরি করে।
4. মাস্ক প্যাটার্নটি চার থেকে ছয়টি আয়নাগুলির একটি সিরিজের প্রতিফলিত হয়, যা সিলিকন ওয়েফারে মনোনিবেশ করার আগে চিত্রের আকার সঙ্কুচিত করার জন্য ক্রমশ ছোট হয়। চিত্রটি গঠনের জন্য আয়নাটি আলোর দিকে কিছুটা বাঁকায়, যেমন কোনও ক্যামেরার লেন্সের সেট কীভাবে হালকা বাঁকতে এবং ফিল্মে একটি চিত্র রাখে work